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日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間:2023-08-28

訪(fǎng)問(wèn)量:2094

廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商

生產(chǎn)地址:日本

簡(jiǎn)要描述:
日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
特征
?適用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM(以N2為標(biāo)準(zhǔn))
?被廣泛的使用于的制造業(yè),從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。
品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類(lèi)其他介質(zhì)分類(lèi)氣體
產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域綜合

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

特征

· 適用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM(以N2為標(biāo)準(zhǔn))

· 被廣泛的使用于的制造業(yè),從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。

日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器規(guī)格

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)

SEC- (質(zhì)量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

E40

E50

適用氣體種類(lèi)*1

非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門(mén)型號(hào)

非通電時(shí) 關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測(cè)量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以?xún)?nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線(xiàn)性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保:15?35℃)

流量設(shè)定信號(hào)

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號(hào)

0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動(dòng)電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

1/4SWL 類(lèi)型


型號(hào)

SEC- (質(zhì)量流量控制器)

E60

E70

E80

SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

E60

E70

E80

適用氣體種類(lèi)*1

N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10

N2、O2、Air、H2

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼

閥門(mén)型號(hào)

非通電時(shí) 關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

50/100 SLM

200 SLM

300/500 SLM

流量控制范圍 (適于SEC系列)

5?100% F.S.

流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以?xún)?nèi)(T98)

2秒以?xún)?nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

±2% F.S.

直線(xiàn)性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

反復(fù)性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

工作差壓值值(適于SEC系列)

100?300kPa(d)

200?350kPa(d)

使用壓力 (適于SEF系列)

350kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-7Pa?m3/s(He)以下

450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以?xún)?nèi)

使用環(huán)境溫度

5?45℃(精度的確保:15?35℃)

流量設(shè)定信號(hào)

0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.

流量輸出信號(hào)

0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動(dòng)電源

+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

3/8SWL 類(lèi)型

1/2SWL 類(lèi)型

*1:關(guān)于記載以外的氣體種類(lèi),請(qǐng)另行咨詢(xún)協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢(xún)協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:zui大值300kPa(G);SEC-70/80:zui大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。


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